作者：霍明学,汤小川,尹亮,刘晓为,王喜莲 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2006年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2006050330 DOC编号：DOCBDTX2006050339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出一种新型压力传感器自检测方法———相变热驱动法.在压力传感器的密封腔中填充相变物质，利用相变物质气化后所产生的巨大压力实现自检测功能.通过控制压力腔中相变物质的填充量与加热电阻的加热功率，可以实现不同量程压力传感器的自检测.基于相变热驱动法研制了一种单晶硅大量程自检测压力传感器，传感器为硅-玻璃-硅三层结构，通过静电键合与热键合技术制备.测试结果显示，自检测电压输出为满量程输出的6&#183；8%，综合精度高于2&#183；1‰。

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