作者：刘沁,陈信琦,叶挺 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2006年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2006S11170 DOC编号：DOCYQXB2006S11179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • “力敏传感器专用工装设备”研究是国家关于“传感器产业化技术”研究的重大项目之一，是研制、开发和生产高性能传感器的技术保障。其工艺水平的高低直接决定传感器产品的性能和质量。本文从攻关解决的关键技术、创新点、技术水平及对我国传感器产业技术进步的影响、知识产权等角度介绍力敏传感器科研生产所必需的几台关键设备的攻关成果及所取得的技术水平和主要成绩。

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