作者：来五星,王聪,李晓平,史铁林 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2006年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2006090030 DOC编号：DOCYBJS2006090039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在汽车电子行业，乙醇气敏传感器可用来检测司机的酒精含量，避免事故的发生。因为二氧化锡(SnO2)具有较高的灵敏度、且最高灵敏度对应的工作温度较低、电路简单、造价低廉、使用方便等特点。基于薄膜工艺开发了硅基二氧化锡薄膜为感应薄膜的乙醇气敏传感器，介绍了乙醇气敏传感器的工作原理，在比较两种薄膜结构的基础上，深入探讨硅基二氧化锡薄膜制作工艺，并对薄膜性能进行了定量分析，为乙醇气敏传感器制作提供了一种好的思路。

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