作者：杨德华,戚永军 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2006年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2006020050 DOC编号：DOCGXJM2006020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了子镜运动和电容传感器极板运动之间的理论关系并探讨了电容位移传感器读数的“结构性”误差的处理方法。基于电容位移传感器的工作原理，对极板为圆形的电容位移传感器提出了采用以位移的测量值和子镜转角为自变量的多项式拟合的校正方法。计算表明该误差处理和校正方法是简洁可行的。对于转角的拟合只需2阶，同时位移测量值只需4阶的多项式进行拟合即可使输出位移达到3 nm的精度。进一步分析表明，直接使用位移传感器读数计算极板转角，并对误差的主动校正控制非常有利于该多项式拟合，可一次性达到优于5 nm的校正误差，完全满足拼接镜面主动光学工程应用的技术要求。

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