作者：程树英,阮文农,王灵婕,林吉申 单位：福州大学 出版：《福州大学学报(自然科学版)》2006年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFZDZ2006020110 DOC编号：DOCFZDZ2006020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种改进的双螺旋结构MEMS加热器的设计和制造（英文）》PDF+DOC2019年第01期 田姣姣,尤敏敏,林祖德,白毅韦,战光辉,刘景全 《热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用》PDF+DOC2015年第08期 张旭辉,徐爱东 《基于MEMS的镍薄膜加热器催化传感器研究》PDF+DOC2019年第05期 孙风光,刘焱,周岩,杨培滋 《MEMS汽车传感器设计关键技术》PDF+DOC2018年第01期 迟亚海,周元超 《金属薄膜压敏技术探讨》PDF+DOC1996年第01期 谢大刚 《铁磁金属薄膜磁阻传感器的研制》PDF+DOC1995年第02期 姚学标,郑万鎏,刘宗英,王烨 《Cr金属薄膜温度传感器的研究》PDF+DOC2004年第S1期 闫卫平,朱剑波,马灵芝,郭吉洪 《金属薄膜加热器的研究》PDF+DOC2004年第04期 闫卫平,朱剑波,马灵芝,杜立群 《等离子体表面波传感器中金属薄膜厚度的最优控制》PDF+DOC2001年第05期 曹振新,梁大开,郭明江 《表面等离子体共振(SPR)薄膜传感器的研究》PDF+DOC2006年第03期 符运良,袁一方,陈抱雪

    • 利用MEMS技术，在硅平面上经过热氧化、掺杂、溅射、光刻、清洗等工艺，制成MOS结构的氨敏传感器，并将双加热器和测温器集成于一体.该传感器的栅极是以Pd栅为主，同时修饰多种金属薄膜.通过研究修饰催化金属薄膜的种类以及薄膜的厚度对传感器的灵敏度和选择性的影响，结果表明：采用多种金属薄膜混合修饰栅极表面的传感器对氨气有较好的选择性和稳定性；催化金属薄膜厚度在10～30nm时，该传感器对氨气最敏感。

    📙 相关资料

    1. 《一种改进的双螺旋结构MEMS加热器的设计和制造（英文）》PDF+DOC 设计制造了一种改进的双螺旋结构MEMS加热器，可用于高温气体传感器作为加热和传感单元。该MEMS加热器以Si为基底，SiO2/Si3N4纳米薄膜作为绝热层，Pt/Ti金属薄膜作为加热单元和传感单元。通过应用并联的线宽由内向外逐渐减小的双螺旋结构，实现温度的均匀性和低功耗。用Comsol进行仿真优化结......
    2. 《热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用》PDF+DOC 微加热器是MEMS气体传感器的重要功能部件，其结构设计与温度控制是MEMS气体传感器设计的重要环节。针对一类典型MEMS气体传感器设计了一款采用热Σ-Δ调制技术的电路，对其微加热器进行闭环温度控制，相比传统的模拟闭环控制电路，该电路结构简单，对元件失配性要求低，在实现温度控制的同时实现了加热器激励信......
    3. 《基于MEMS的镍薄膜加热器催化传感器研究》PDF+DOC 设计了基于微机电系统(MEMS)工艺，以镍薄膜作为加热体的新型催化传感器。通过磁控溅射沉积、刻蚀等工艺制成镍薄膜加热器，并对其进行了稳定化热处理以及防氧化聚合物涂层处理。传感器性能测试结果表明：镍薄膜加热器具有良好的抗高温氧化能力；气氛老化可缩短50%的老化时间；甲烷气体浓度与灵敏度呈良好的线性关系......
    4. 《MEMS汽车传感器设计关键技术》PDF+DOC MEMS是一种新型的技术手段，在当前生产行业有着广泛的应用。针对汽车传感器设计的MEMS技术取得了很大的发展成效，将汽车传感器行业的提高与发展带入了一个新的领域。但是，MEMS技术在汽车传感器设计中的应用也存在一定的问题，使得汽车传感器的成本提高，不利于汽车行业的发展。本文重点对MEMS汽车传感器设......
    5. 《金属薄膜压敏技术探讨》PDF+DOC 本文详细讨论了金属薄膜传感器技术与其它技术的优劣比较，金属薄膜压力传感器的基本结构、生产工艺及其应用情况。...
    6. 《铁磁金属薄膜磁阻传感器的研制》PDF+DOC 本文介绍用离子溅射技术和微细加工技术制备磁性薄膜磁阻传感器的方法及初步结果，并对有关问题进行讨论。...
    7. 《Cr金属薄膜温度传感器的研究》PDF+DOC 采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺，得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。...
    8. 《金属薄膜加热器的研究》PDF+DOC 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni：80 % ，Cr ：2 0 % )金属薄膜 ，探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ，Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10...
    9. 《等离子体表面波传感器中金属薄膜厚度的最优控制》PDF+DOC 对表面等离子体波传感器性能影响最大的因素就是探头上金属膜层的厚度。因而在研制利用表面等离子体共振效应的各种传感器的过程中 ，精确的控制好镀膜的厚度就有非常重要的意义。本文对利用表面等离子体波本身对厚度的敏感特性来精确的控制所镀膜层厚度进行了探讨...
    10. 《表面等离子体共振(SPR)薄膜传感器的研究》PDF+DOC 利用自制的棱镜型表面等离子共振(SPR)传感器，在固定入射光波长632.8nm激光入射下，被测样品为空气，研究了金属薄膜分别为Al膜、Ag膜及Au膜时的反射光功率与入射角之间的关系，讨论了Al薄膜厚度对表面等离子共振灵敏度的影响。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。