作者： 单位：西安微电机研究所 出版：《微电机》2007年第12期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDJZ2007120260 DOC编号：DOCWDJZ2007120269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

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