作者：樊平,马瑞卿 单位：西安微电机研究所 出版：《微电机》2007年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDJZ2007070140 DOC编号：DOCWDJZ2007070149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

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