作者：郭彤,胡春光,陈津平,傅星,胡小唐 单位：中国计量测试学会 出版：《计量学报》2007年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXB2007040010 DOC编号：DOCJLXB2007040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法，它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法，利用ISO5436-1：2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明，该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点。系统测量的精度在纳米量级，重复性在亚纳米量级。

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