《Cu/Sb掺杂SnO_2纳米晶薄膜的H_2S气敏特性》PDF+DOC
作者:龚树萍,邱原,周东祥
单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会
出版:《电子元件与材料》2007年第11期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZAL2007110040
DOC编号:DOCDZAL2007110049
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以SnCl2·;2H2O、CuCl2·;2H2O、SbCl3和无水乙醇为原料,采用sol-gel浸渍提拉法(sol-geldip-coatingmethod,SGDC)制备了纳米晶气敏薄膜。在多个工作温度和气体浓度下测试了薄膜对H2S的气敏特性。结果表明:r(Cu:Sb:Sn)为1:5:100,工作温度为140℃时,薄膜对H2S有很好的灵敏度和选择性,敏感浓度下限可达0.7×;10–6。
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