作者： 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2007年第03期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2007030280 DOC编号：DOCDGZS2007030289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 德国的E+H公司(Eichhorn+Hausmann)为一世界级的专业半导体量测仪器设备制造商，以其30年的经验与独特的专业技术，致力于各种高精密性非接触式硅片测厚仪器的研发与制造。E+H之量测仪使用多点电容非接触式传感器，可量测硅片的翘曲度及薄膜应力(Stress)，并同时提供硅片的Thick-

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