作者：王建,张文栋,薛晨阳,熊继军,张斌珍,仝召民 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006051410 DOC编号：DOCCGJS2006051419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限，为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据，首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的GaAs基薄膜压力传感器，实现了RTD工艺与微机械加工技术的工艺集成.测试结果表明：该压力传感器的线性灵敏度达到0.1mV/kPa。

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