作者：赵立波,赵玉龙,蒋庄德 单位：西安交通大学 出版：《西安交通大学学报》2006年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXAJT2006090140 DOC编号：DOCXAJT2006090149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 通过动力学分析和有限元模拟，设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片，通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处，利用激光焊接工艺，制造了量程为&#177；20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明，在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下，传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标，从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求。

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