作者：宋仁旺,陈琳英 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2006年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2006080240 DOC编号：DOCCGQJ2006080249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了超低频主动隔振控制中常用的位移传感器的类型、工作原理、结构特点及适用范围。对影响静电悬浮加速度计测量精度的振源进行了详细分析，并对静电悬浮加速度计测量频段范围内的振动幅值作出了理论计算。对设计研制的线变量差动位移传感器进行了测试，结果表明：该传感器对振动频率在10-4~100Hz范围内的低频振动信号具有非常理想的拾振效果。

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