作者：屠立刚 单位：山西省生物研究所;山西省科学技术情报研究所 出版：《山西科技》2007年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSXKJ2007050220 DOC编号：DOCSXKJ2007050229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC2001年第04期 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥 《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《MEMS传感器的标准化现状与发展对策》PDF+DOC2007年第08期 陈勤,范树新,张维波 《微电子机械系统的发展与应用》PDF+DOC2006年第03期 胡雪梅,王宏颖 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC2003年第01期 黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭 《用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性》PDF+DOC2003年第04期 朱德忠,张荣海,顾毓沁,郝京阳 《MEMS在电气设备中应用探讨》PDF+DOC2003年第10期 康明才,吴军基,黄锦安 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东 《微电子机械系统(MEMS)发展研究》PDF+DOC2002年第03期 王宏 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫

    • 电子工业已经成为世界上规模最大的工业。电子器件是电子工业的基础，该领域的发展十分迅速，新器件、新效应、新技术日新月异。半导体器件的特征尺寸已进入微米量级。近年来MEMS(微电子机械系统)器件的出现和发展引起各工业大国的关注。文章介绍了MEMS的主要特点及其在通信领域的应用。

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