作者：闫向彤,江平宇 单位：华东计算机技术研究所;上海计算机学会 出版：《计算机工程》2007年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSJC2007100170 DOC编号：DOCJSJC2007100179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在分析和细化MEMS多种器件设计流程的基础上，建立了通用的MEMS Top-Down设计过程模型。参考工作流过程定义语言XPDL，并对其进行了扩展和修改，充分考虑微机械系统设计过程的特点，提出了一种基于XML的MEMS设计过程描述语言(MDPDL)，介绍了其设计和实现的基本思想，用实例验证了该语言的有效性。

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