作者：何国田,王向朝,曾爱军 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2007年第11期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2007110170 DOC编号：DOCGXXB2007110179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 表面形貌干涉测量技术是一种高精度的非接触式测量技术，在工业生产和科学研究中具有广泛的应用。提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉测量新技术。该技术用激光二极管作光源，用自制的高速图像传感器探测干涉信号，通过信号处理电路实时解相得到被测表面所对应的相位分布，实时分析相位获得物体表面形貌。该技术消除了光强和部分外界干扰的影响，提高了系统的测量精度。楔形光学平板表面形貌的测量结果表明，测量点为60&#215；60个的情况下，测量时间小于8.2 ms，重复测量精度(RMS)为4.3 nm。

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