作者：王丽坤,朱同淑,李书相,李光,张福学 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2006年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2006020250 DOC编号：DOCCGQJ2006020259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压电加速度传感器校准及测量不确定度评定》PDF+DOC2016年第S1期 王乐,屈长明 《悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究》PDF+DOC2017年第03期 苏莹,闫树斌,张志东,汤跃,王瑞兵,陈慧斌 《微压电梁振动一体化测试方法》PDF+DOC2020年第09期 张博,潘孟春,胡佳飞,杜青法,潘龙,孙琨 《四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用》PDF+DOC2000年第08期 乔文华,张纯棣,张治国 《提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)》PDF+DOC2002年第11期 郑丹,宋朝辉,张鲲 《便携式水声传感器测试系统的设计与实现》PDF+DOC2015年第06期 安寅,黄涛威,陈棣湘 《火箭发动机推力矢量测量平台的原理与结构》PDF+DOC2010年第03期 高长银,孙宝元 《微压电式振动能量采集器的研究进展》PDF+DOC2009年第11期 孙健,李以贵,刘景全,杨春生,何丹农 《小力值测试系统及其动态标定装置的研究》PDF+DOC2008年第10期 张伟,张军,钱敏,孙宝元,任宗金 《高平衡脉动压力传感器研制》PDF+DOC2007年第02期 黄泽森,汤世友

    • 研制了一套压电微压传感器的性能测量系统，它采用均匀声腔硅油介质中传播的声波作为压力源，标准传感器和被测传感器同时接收波动声压，比较两传感器的输出，测定被测传感器的灵敏度及频响。实验测试了3只压电式微压传感器，结果表明：传感器的灵敏度平均为3.0mV/Pa，工作频率为20~2 000Hz，灵敏度随频率波动小于0.5mV/Pa，灵敏度重复偏差小于0.24mV/Pa。

    📙 相关资料

    1. 《压电加速度传感器校准及测量不确定度评定》PDF+DOC 文章对中频振动校准装置的工作原理及压电加速度传感器校准方法进行了介绍，并对压电加速度传感器灵敏度值测量不确定度进行了分析评定。...
    2. 《悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究》PDF+DOC 针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题，提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理，然后对悬臂梁结构进行了建模仿真，同时也确定了悬臂梁和环形谐振腔的最佳结构参数，最后利用MEMS工艺在SOI材料上制备了该新型传感器。利用光学耦合测试平台，对所加......
    3. 《微压电梁振动一体化测试方法》PDF+DOC 微压电梁因其反应灵敏、易加工等特性被广泛应用于各类传感器件中。针对微压电梁振动幅值、品质因数和谐振频率测试方法存在漂移误差、测试参数单一以及测试效率较低等普遍性问题，提出了微压电梁谐振参数一体化测试方法，设计并搭建了以高精度控制电路为核心的一体化测试系统。针对测试过程中由于测试系统稳定性差或微压电梁......
    4. 《四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用》PDF+DOC 在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ，考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ，使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ，膜区厚度为 1 0 μm ，制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/...
    5. 《提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)》PDF+DOC 表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ，应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ，无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ，但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ，从而部分抵消了应力消除的效果。提出一种新型深盆腔膜片结构 ，在消除应力的同时实现......
    6. 《便携式水声传感器测试系统的设计与实现》PDF+DOC 针对声引信中水声传感器灵敏度检测的实际要求，设计一套基于虚拟仪器技术的便携式水声传感器测试系统。水声传感器测试装置采用压电振动法，利用虚拟仪器设计软件Lab VIEW进行数据的采集、处理和系统用户界面的设计；并采用数字锁相放大技术对采集的数据进行微弱信号处理，以获得传感器输出信号。通过对某型水声传感......
    7. 《火箭发动机推力矢量测量平台的原理与结构》PDF+DOC 介绍了一种新型压电式火箭发动机推力矢量测试方法，该测试系统的测力平台由4个3维压电石英力传感器构成，利用每个传感器获得的3个分力信号，将其带入推力矢量反求公式，即可获得各推力矢量偏心参数。通过空间加载试验可知，该压电推力矢量测量系统的推力测量误差不大于0.3%，同时能准确测量出偏移量δ和偏斜角α等参......
    8. 《微压电式振动能量采集器的研究进展》PDF+DOC 给出了微压电式振动能量采集器的基本工作原理和物理模型。按照压电单元结构类型的不同，将其分为单一的直线型悬臂梁、直线型悬臂梁阵列、L型悬臂梁和圆形压电膜，分别讨论了各种类型的微压电振动能量采集器的优缺点。详细介绍了国内外各研究小组研制的微压电式振动能量采集器的结构参数、性能及其应用现状，分析针对目前研......
    9. 《小力值测试系统及其动态标定装置的研究》PDF+DOC 针对小力值测试系统量程较小，测试结果受环境干扰比较大这一问题，提出了一种系统动态标定方法。动态标定时，标准梯形波信号由信号发生器发出，经激振器作用到被标定测试系统上，被标定传感器和标准传感器分别输出电压信号，由数据采集卡接收至PC机进行分析计算。从系统结构、测试环境等方面分析了标定时误差的来源并加以......
    10. 《高平衡脉动压力传感器研制》PDF+DOC 详细介绍了一种用于高平衡压力条件下的压电式脉动压力传感器。该传感器采用传统的压电转换原理和独创的单腔双膜结构，通过多项优化设计措施，重点解决了传感器高分辨率与大过载、小体积结构之间的突出矛盾。实验证明：此传感器压力分辨率和过载能力都特别强，非常适合高平衡脉动压力测量。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。