作者：任勇峰,王晓丽 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007030090 DOC编号：DOCBDTQ2007030099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对比典型的差动电容结构，设计了一种新的折叠梁电容式MEMS低g(g=9.8m/s~2，当地重力加速度)值加速度计，指标为量程0～&#177；2g，横向灵敏度&lt；3%。利用有限元分析软件对模型进行了静态应力分析和模态分析，并给出了接口电路和自检测功能原理。最后设计了一套可行的加工工艺。

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