作者：丁衡高,朱荣 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2007年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2007040020 DOC编号：DOCNMJM2007040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 近年来，微米纳米科学技术发展迅速，在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上，结合我国具体情况，阐述了以下观点：开展创新工艺和设计方法研究，提高微机电(MEMS)应用和产业化能力；开展基础研究，提高MEMS器件和系统的水平；加强微米/纳米科学技术成果的结合.最后对今后研究工作提出了建议。

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