作者：侯亚丽,李长河,蔡光起 单位：机械工业信息研究院 出版：《金属加工(冷加工)》2007年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGR2007030360 DOC编号：DOCJXGR2007030369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micro Systems(微系统，欧洲)。从其尺寸角度，可分为

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