作者：樊尚春,汪彩霞 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2007年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2007040110 DOC编号：DOCNMJM2007040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC1997年第02期 毅力 《微机械传感器计算机辅助设计系统》PDF+DOC1995年第S1期 费龙,钟先信,温志渝,徐涛 《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC2005年第02期 樊尚春,肖志敏,张庆荣 《基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究》PDF+DOC2001年第04期 张昱,金心宇,陈抗生,王跃林 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC2011年第12期 李晶,樊尚春,李成,余朝发 《MEMS单片集成新方法及关键技术的研究》PDF+DOC2001年第03期 王晓红,谭智敏,刘理天,李志坚 《硅谐振压力微传感器开环自动测试技术》PDF+DOC1999年第03期 周浩敏,邢维巍 《硅电容式压力传感器》PDF+DOC2005年第02期 王中文,王丽娟 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微机械气流式倾角传感器的研究》PDF+DOC2011年第12期 朴林华,崔雪梅,余全刚,王星,梅传志,张保丽

    • 对谐振式微机械传感器的敏感元件——微机械谐振梁的谐振频率特性进行了详细的实验研究，并从理论上分析了激励功率对谐振频率的影响.实验结果表明，谐振频率随着激励功率的增加而近似线性减小，当激励功率从1.1 mW提高到10.1 mW时，谐振梁的谐振频率降低了1.609 kHz，灵敏度为0.179 kHz/mW.实验结论与理论分析的结果基本一致.若要使激励功率对谐振频率的影响减小，则要求降低激励功率并减小梁的长度，增大梁的厚度和宽度.上述研究结论对优化谐振式微机械传感器敏感元件结构尺寸的设计有指导意义。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC 扼要介绍微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的发展及市场，包括微陀螺仪、微传感器、微加速度计、微电动机等几种代表性产品的封装技术，目前存在问题和今后的发展方向，并发表了笔者的见解...
    2. 《微机械传感器计算机辅助设计系统》PDF+DOC 微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。...
    3. 《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC 对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述，分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性，必有广阔的应用和发展前景。...
    4. 《基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究》PDF+DOC 本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ，证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ～ 10 - 1 Pa，具有......
    5. 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC 谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器，是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点，己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状，并对加工工艺进行了总结，讨论了谐振式硅微......
    6. 《MEMS单片集成新方法及关键技术的研究》PDF+DOC 提出一种与标准IC工艺兼容的MEMS单片集成新方法 -后微机械技术 ，研究了与之相关的关键技术 ，PECVD淀积SiC保护电路技术及多孔硅牲层技术 ，并进行了多孔硅牺牲层技术的实验研究 ，取得了满意的结果。...
    7. 《硅谐振压力微传感器开环自动测试技术》PDF+DOC 鉴于微传感器敏感元件的尺寸已经是“微米”级，并且所要处理的信号最大仅为微伏量级，信噪比极低，因此在微传感器的开环测试中需要采取新的技术和测试方法。本文主要讨论了硅谐振压力微传感器开环测试中的自动测试以及同频干扰问题。...
    8. 《硅电容式压力传感器》PDF+DOC 在广泛地比较了各种设计方案产业化的难易程度的基础上，最终确定了符合现有的工艺条件、易于产品化以及与其他产品生产相兼容的最佳方案，给出了MEMS的具体的工艺流程。...
    9. 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC 本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础，并结合 MEMS 的发展史和制造技术，对MEMS 的应用领域作了重点阐述，最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。...
    10. 《微机械气流式倾角传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器。采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽，在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂梁，用半圆球外壳封装成一个密闭腔体形成敏感元件；通过惠斯登电桥提取倾角电压信号；利用单片机和温度传感器构成补偿电路，实现温度补偿和线性度补偿。测试结果表明：测量范围为&#......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。