作者:李隆玉,肖顺华,董永芬,冯春岳,姜卫粉,李新建 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2007年第12期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2007120050 DOC编号:DOCCGJS2007120059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%~95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决。

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