《铌酸锂晶体波导散斑温度传感器的研究》PDF+DOC
作者:朱松河,武鹏飞,刘洪亮
单位:中国电子科技集团第四十四研究所
出版:《半导体光电》2018年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTG2018040030
DOC编号:DOCBDTG2018040039
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采用飞秒激光直写技术在铌酸锂晶体中写入圆柱形包层光波导,利用激光在波导中传输所产生的散斑,基于平均散斑强度变化算法实现了对外界温度的传感,并验证了波导芯径对传感灵敏度的影响。实验证明,该传感器对温度的传感精度可达0.05℃,其动态范围可达20℃,且芯径为60μm的光波导较30μm光波导的传感灵敏度更高。该方案凭借晶体波导几何尺寸的特征,有效减小了传感系统的体积,并进一步拓展了晶体波导在集成光学系统中的应用。
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