《直流反应磁控溅射WO_3薄膜气敏特性研究》PDF+DOC

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6. 《WO_3气敏薄膜的膜厚对气体响应时间的影响》PDF+DOC 用简单的模型分析了薄膜气体传感器敏感材料的膜厚对气体响应时间的影响，该模型适用于分析WO3薄膜气体传感器的敏感特性。薄膜气体传感器的敏感特性依赖于气体原子在薄膜内的扩散和与气敏材料的响应；而气体原子在薄膜内的扩散是由薄膜厚度决定的。经过推导得出理论上WO3薄膜对NH3的敏感特性，并将其与实验所得的数......
7. 《Cu/Sb掺杂SnO_2纳米晶薄膜的H_2S气敏特性》PDF+DOC 以SnCl2&#183；2H2O、CuCl2&#183；2H2O、SbCl3和无水乙醇为原料，采用sol-gel浸渍提拉法(sol-geldip-coatingmethod，SGDC)制备了纳米晶气敏薄膜。在多个工作温度和气体浓度下测试了薄膜对H2S的气敏特性。结果表明：r(Cu：S......
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