《微构件力学性能测试技术进展》PDF+DOC

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4. 《微电子机械系统中构件的基本力学量检测》PDF+DOC 本文就近几年在ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）基本力学量测量技术的最新发展及其特点、意义、进行了较全面的综述。内容包括：ＭＥＭＳ所用材料的基本力学参数测量（如Ｅ、Ｇ、μ），材料的摩擦与摩损的测量，ＭＥＭＳ结构内应力、应变的测量，结构的动态参数和机构运动速度的测量......
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