《三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析》PDF+DOC
作者：徐夏,马游春,翟成瑞,熊继军
单位：中国计算机用户协会自动控制分会;中国计算机用户协会山西分会
出版：《微计算机信息》2007年第05期
页数：3页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFWJSJ2007050860
DOC编号：DOCWJSJ2007050869
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文章针对一种三维MEMS加速度计，提出了三维加速度计的测试方法，并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述，指出该型MEMS加速度计的结构优点及性能特点。针对该加速度计，作者设计了测试装置，制作了测试电路，并在文章中详细描述了测试原理及整个测试过程。分别在三个方向上，对此三维MEMS加速度计进行了多次对比测试，同时采集包括标准加速度计输出和MEMS加速度计三向输出在内的四路信号，以便进行冲击方向上两加速度计的横向对比和三向MEMS加速度计的轴间耦合分析。测试结果表明，此测试方法和装置是可靠有效的，且具有一定的通用性可用于其它类似传感器的测试分析中。
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