作者：韩丰田,吴秋平,董景新 单位：中国惯性技术学会 出版：《中国惯性技术学报》2007年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGXJ2007010180 DOC编号：DOCZGXJ2007010189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来，对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位移检测电路的原理，分别对静电陀螺、静电加速度计和MEMS微陀螺、微加速度计的电极配置方案和位移检测的接口电路进行了分析，并对不同的位移检测方案进行了比较。

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