《一种小型电容敏感式加速度计的研制》PDF+DOC
作者:王宏伟,江世宇,腾功清,齐臣杰
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2007年第Z1期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2007Z10860
DOC编号:DOCBDTQ2007Z10869
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利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计。设计了一种提取差动电容信号的检测电路。给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系。经过实验测试,加速度计的灵敏度大约为391.12mV/(m.s-2)。
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