《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC
作者:王辉,吴瑞,温廷敦
单位:中国计算机用户协会自动控制分会;中国计算机用户协会山西分会
出版:《微计算机信息》2007年第29期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWJSJ2007290780
DOC编号:DOCWJSJ2007290789
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《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC2007年第08期 吴瑞,温廷敦
《硅微型加速度传感器技术》PDF+DOC2007年第03期 吴瑞,温廷敦
《介观压阻效应在微型传感器中的应用研究》PDF+DOC2008年第02期 王伟,温廷敦,许丽萍,张庆伟
《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC2009年第02期 王伟,温廷敦
《表面微机械MEMS温度传感器研究》PDF+DOC2015年第03期 刘庆海,黄见秋
《微硅加速度传感器的发展》PDF+DOC1999年第04期 孟军,茅盘松
《GaAs基PHEMT加速度传感器的研究》PDF+DOC2010年第02期 贾晓娟,张斌珍,刘俊,薛晨阳,侯婷婷,谭振新,王杰
《微硅高g加速度传感器工艺研究》PDF+DOC2002年第04期 张中平
《介观压阻型硅锗加速度计研究》PDF+DOC2009年第03期 温银萍,温廷敦
《介观压阻效应及器件》PDF+DOC2008年第11期 张文栋,熊继军,薛晨阳,张斌珍,仝召民
为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计一种四梁岛结构,通过理论分析与仿真计算,得出该结构在1gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,从理论上验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性,为此类加速度计的设计提供参考。
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