作者:张丹 单位:山东省技术开发服务中心 出版:《科技信息》2007年第33期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFKJXX2007330370 DOC编号:DOCKJXX2007330379 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文给出了一种用计算机软件ANSYS分析微传感器中的传感元—硼硅膜在压力作用下形变的方法。

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