作者： 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2007年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2007080080 DOC编号：DOCJXXB2007080089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《《传感技术学报》2016年第1～12期总目录》PDF+DOC2016年第12期 《重视引信传感器试验装置及测试方法的研究》PDF+DOC1994年第04期 王忠洲,石庚辰 《钛酸铅铁电薄膜及热电型红外传感器》PDF+DOC1987年第01期 刘一声 《新型MEMS地震检波器的研究》PDF+DOC2010年第08期 谌贵辉,赵万明,任诚,席建中 《Tb_(0.29)Dy_(0.71)Fe_(1.8)薄膜/光纤弱磁场探测性能研究》PDF+DOC2007年第S1期 刘吉延,马世宁,斯永敏,李长青 《磁控溅射制备镍薄膜热阻温度传感器工艺研究》PDF+DOC2006年第06期 张以忱,张健,巴德纯 《化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制》PDF+DOC2006年第03期 曾其勇,孙宝元,徐静,贾颖,崔云先,邓新禄,徐军 《NiCrAlY薄膜应变计的研制》PDF+DOC2015年第04期 张洁,杨晓东,蒋书文,蒋洪川,赵晓辉,张万里 《一种新型四维加速度传感器研究》PDF+DOC2014年第03期 李敏,刘俊,吕华溢,秦岚 《基于纵向激励的Fe基非晶带加速度传感器》PDF+DOC2013年第03期 史晓君,卜雄洙,杨波

    • 项目名称：基于软磁多层膜交流阻抗效应的新型力敏传感器研究项目批准号：50275096项目负责人：周勇所在单位：上海交通大学研究内容：应力阻抗效应是指软磁材料的交流阻抗在外力的作用下发生显著变化的现象，利用应力阻抗效应可制作各种高灵敏度、响应速度快的新型力敏传感器，如压力传感器、加速度传感器等，在自动控制、汽车电子、航空航天和机器人技术等领域中有巨大的应用前景。本项目采用磁控溅射制备了软磁FeSiB薄膜和FeCuNbCrSiB薄膜，研究了薄膜的制备工

    📙 相关资料

    1. 《《传感技术学报》2016年第1～12期总目录》PDF+DOC ~~...
    2. 《重视引信传感器试验装置及测试方法的研究》PDF+DOC 结合山方找国引信传感器研究的技术现状，对引信传感器的性能测试方法和试验装置，在引信传感器研究中的重要地位进行了论证，并提出了几点建议。...
    3. 《钛酸铅铁电薄膜及热电型红外传感器》PDF+DOC 钛酸铅陶瓷是一种优良的强热电材料。用RF溅射、磁控溅射和CVD等成膜方法能制取优质的钛酸铅膜，已用这种薄膜试制出各种性能优良的红外敏感器件。目前这些器件已在红外成像及红外光CT装置等领域获得应用。...
    4. 《新型MEMS地震检波器的研究》PDF+DOC 以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。介绍了一种新型的石油勘探MEMS地震检波器的设计及其主要技术参数，并通过微传感器结构的力学性能仿真，得出其具体的结构尺寸。经采用表面工艺和体工艺相结合的方法，利用磁控溅射、光刻、化学蚀刻及等离子体蚀刻等工艺，在高阻硅上......
    5. 《Tb_(0.29)Dy_(0.71)Fe_(1.8)薄膜/光纤弱磁场探测性能研究》PDF+DOC 采用磁控溅射工艺，由计算机程序控制，在光纤表面制备了厚度均匀的Tb0.29Dy0.71Fe1.8超磁致伸缩薄膜。利用马赫-曾德尔干涉仪，对Tb0.29Dy0.71Fe1.8超磁致伸缩薄膜/光纤传感系统的磁探测性能进行了实验测试。结果表明：在调制频率1kHz附近，传感系统对磁场具有最大的信号响应；在恒......
    6. 《磁控溅射制备镍薄膜热阻温度传感器工艺研究》PDF+DOC 利用镍薄膜的温度电阻特性以及磁控溅射镀膜技术设计并制备了薄膜热阻型温度传感器，为了达到较好的工作稳定性，设计了多层的复合膜系。文中分析了沉积薄膜的工作压力、电源功率、靶基距、退火温度、退火时间等制备工艺参数对热阻薄膜特性的影响，以及工艺参数对所沉积的镍薄膜的膜厚均匀度和温度电阻曲线，温度电阻系数等传......
    7. 《化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制》PDF+DOC 针对化爆材料的切削特点，研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr／NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘，即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4......
    8. 《NiCrAlY薄膜应变计的研制》PDF+DOC 采用射频磁控溅射法在Ni基高温合金拉伸件上制备Ni Cr Al Y薄膜应变计。研究了热稳定处理对Ni Cr Al Y薄膜结构、表面形貌的影响，并且测试了Ni Cr Al Y薄膜应变计的电学与应变性能。结果表明：热稳定处理后Ni...
    9. 《一种新型四维加速度传感器研究》PDF+DOC 针对高档数控机床动态振动特性的健康监测需要，提出并研究了一种单惯性质量块的压电式四维加速度传感器。介绍了传感器的结构和工作原理，推导了其数学模型，运用ANSYS有限元软件对传感器的静态灵敏度、维间耦合和动态固有频率、维间耦合等特性进行了仿真研究。研究结果表明：该四维加速度传感器能够实现四维加速度的传......
    10. 《基于纵向激励的Fe基非晶带加速度传感器》PDF+DOC 为了提高传感器的性能，该文选取Fe基非晶带材作为敏感材料，采用纵向激励的驱动方式，优化设计了差分型的敏感元件。针对敏感元件的结构形式和驱动方式设计了相应的脉冲信号发生电路、峰值检波电路、无源低通滤波电路和电压跟随电路。对基于巨应力阻抗效应的加速度传感器样机的动静态性能进行了实验标定和数据分析。测试结......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。