作者：李艳宁,李树民,郭彤,房轩,傅星,胡小唐 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2007年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2007020040 DOC编号：DOCNMJM2007020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于微梁谐振原理的相对湿度检测方法.建立了微梁谐振频率与环境相对湿度的函数关系，通过检测谐振频率可以测量环境相对湿度.利用压电微梁直接激励法进行实验，得出了30%~80%湿度范围内微梁谐振频率与相对湿度的关系曲线.经实验验证，基于谐振原理的微梁湿度传感器有良好的精度和重复性，分辨率可达0.2%RH，精度优于&#177；2.0%RH.微梁湿度传感器体积小、响应快、精度高，在微机电系统和微全分析系统中有广泛的应用前景。

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