作者：王宏亮,张晶,乔学光,贾振安,王瑜,马超 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2007年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2007030010 DOC编号：DOCBDTJ2007030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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