作者：石志松,朱惠忠,梁吴迪 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z11240 DOC编号：DOCBDTQ2007Z11249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器，研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式，研究了器件在单边触液条件下的工作特性。阵列器件采用扫描工作方式，分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态，使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态，避免了单元器件间的振动耦合。实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示，阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到&#177；0.2&#215；10-6/h，液相平均频率稳定度达到&#177；0.4&#215；10-6/h。

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