《ZnO薄膜的丙酮气敏特性研究》PDF+DOC
作者:邱美艳,孙以材,潘国锋,杜鹏,李辉
单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会
出版:《电子元件与材料》2007年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZAL2007050150
DOC编号:DOCDZAL2007050159
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用直流磁控反应溅射法,分别在Si(111)基片及Al2O3陶瓷基片上制备了ZnO薄膜,并进行TiO2、SnO2、Al2O3或CuO的掺杂和退火处理。用XRD分析了退火前后晶型的变化,利用气敏测试系统对各样品进行了气敏特性测试。结果表明:经过700℃退火后的样品,在最佳工作温度为220℃时,对丙酮有很好的选择性和很高的灵敏度(34.794)。掺杂TiO2或SnO2,可提高ZnO薄膜传感器对丙酮的灵敏度(57.963)。
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