作者：肖顺华,李隆玉,姜卫粉,李新建 单位：中国化学会 出版：《》 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWJHX2007080100 DOC编号：DOCWJHX2007080109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺，以Si-NPA为衬底，制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜，并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明，环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试信号频率下，当环境的相对湿度从11%上升到95%时，BST/Si-NPA湿敏元件的电容增量可达起始值的4400%，显示出较高的湿度敏感性。同时，元件的响应时间和恢复时间均约为42s，表现出较快的时间响应和均衡的吸附/脱附。最后，通过复阻抗法讨论了元件的感湿机理。

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