作者：颜重光 单位：中国科技信息研究所 出版：《电子设计应用》2007年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYDZ2007030040 DOC编号：DOCYYDZ2007030049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 最近几年来MEMS技术在国内外得到了迅猛的发展，MEMS产品已经有了开拓性的应用，MEMS产业链将会迅速崛起，预计2007年，全球MEMS元器件销售总额将突破70亿美元。

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