《一种基于多孔硅微腔光学特性的气体传感器的研究》PDF+DOC
作者:李志全,张冉,张乐欣,杨红艳,朱丹丹,白志华
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2007年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2007010120
DOC编号:DOCCGJS2007010129
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当有机物分子吸附到多孔硅表面时,由于有机物分子在多孔硅的孔内的毛细冷凝作用,将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱吸收峰峰位的变化.本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的传感模型.使用多孔硅微腔的反射谱实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,结果证明多孔硅微腔传感元件可以实现对有机物蒸汽的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好。
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