作者：易亮,欧毅,陈大鹏,叶甜春 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2007年第01期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2007010060 DOC编号：DOCDGZS2007010069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS的未来十年属于执行器》PDF+DOC2015年第10期 薛士然 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC2005年第03期 林日乐,谢佳维,蔡萍,翁邦英,董宏奎,赵建华,王瑞,张巧云 《基于MEMS的流动主动控制技术及其研究进展》PDF+DOC2005年第04期 程忠宇,吴学忠,李圣怡 《MEMS在控制系统中的应用》PDF+DOC2004年第01期 杨涛,李磊民,何叶,韩宾 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC2004年第01期 王亚珍,朱文坚 《微机电系统科学与技术的现状研究》PDF+DOC2003年第11期 黄志奇,杜平安,卢凉 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《微机电系统在计量领域的应用》PDF+DOC2014年第03期 王有忠

    • 微机电系统(MEMS：Micro Electro-Mechanical System)技术或微传感器与微执行器(MicromachinedTranducers)技术，它是在微电子技术的基础上发展起来的，融合了硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术，并利用IC技术把控制和信号处理电路与机械部件集成的微型系统。这种技术所涉及的器件的特征尺寸一般小于1mm而大于1μm，它为流体控制研究开辟了一个崭新的领域。简述了流体控制技术的基本原理以及应用MEMS技术实现流体控制的机理和途径，分别介绍了国外研究机构近年来在微传感、微执行技术的研究工作。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS的未来十年属于执行器》PDF+DOC 过去几年，微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)备受关注，但是大多数集中于MEMS传感器应用，在可以预见的未来十年内，MEMS执行器即将大放异彩。其实，MEMS包含传感器和执行器MEMS里面包含了传感器(sensor)和执行器(actuator)，二者......
    2. 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC 简要介绍微机电系统在各个领域的应用。...
    3. 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术，包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术。该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术，先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术。最后给出用LIGA技......
    4. 《基于MEMS的流动主动控制技术及其研究进展》PDF+DOC MEMS技术与流动控制技术的结合，使得流动主动控制技术的实际应用逐步成为现实，极大地推动了流动主动控制技术的发展。简述了流动主动控制技术的基本原理、关键技术，以及应用MEMS技术实现流动主动控制的机理和途径。介绍了几家国外研究机构近年来在流动主动控制技术领域基于MEMS技术的微传感、微控制和微执行技......
    5. 《MEMS在控制系统中的应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域，借助于MEMS可以实现微观对象的检测与控制以及宏观对象的分布式检测与控制。综述了基于 MDMS 的主动控制和传感器网络在控制系统中的应用。...
    6. 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC 主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。...
    7. 《微机电系统科学与技术的现状研究》PDF+DOC 概述性地介绍了微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem———MEMS)的定义及其特点。从理论基础、技术基础和应用研究三方面阐述了MEMS的主要研究内容。简要介绍了MEMS的基本加工技术，实际应用情况以及国内外MEMS的研究发展现状。...
    8. 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC 微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势。...
    9. 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC 概述了微机电系统的结构和特点，介绍了微机电系统的研究和应用领域。...
    10. 《微机电系统在计量领域的应用》PDF+DOC 一、微机电系统的发展现状微型机械电子系统(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微型系统(Micro Systems)，俗称微机电系......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。