作者：王家畴,荣伟彬,孙立宁,谢晖,陈伟 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2007年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2007040170 DOC编号：DOCGXJM2007040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种以压阻检测技术为基础，压电陶瓷为微驱动元件，具有两级位移放大且集成三维微力传感器的微夹持器。采用有限元软件对微操持器放大机构和传感器弹性体进行分析，并给出了传感器的标定方法。实验证明，该传感器具有无耦合、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点，满足了预计的设计要求，传感器最大量程为10 mN，X向与Y向的分辨率均为2.4μN，Z向的分辨率为4.2μN；同时也验证了所设计的微夹持器的合理性和实用性，当压电陶瓷驱动电压取200 V时，微夹持器的张合量达到最大值274μm。

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