作者：何国田,王向朝,唐锋 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2007年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ2007020260 DOC编号：DOCJJZZ2007020269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于表面形貌测量时，需要帧速高于300 frame/s的图像传感器，同时要求调制信号频率与图像传感器帧速成确定的整数倍关系。提出一种基于低速CCD(30 frame/s)的帧速可调的高速图像传感技术，通过控制每帧像素总数提高CCD帧速，研制出一种高帧速图像传感器，帧速可达300~1600 frame/s，且每帧大小连续可调。将该CCD传感器用于正弦相位调制干涉泰曼-格林干涉仪，测量镀膜玻璃板表面形貌，当CCD图像传感器的帧速与调制信号频率呈16，8，4倍的关系时，得到玻璃板表面形貌的轮廓平均算术偏差Ra小于1.8 nm，重复精度优于3 nm。

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