作者：刘宁,林云生,左燕生,韩立 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2007年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2007040160 DOC编号：DOCWXJS2007040169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 讨论了微悬臂生化传感器在动态模式下的工作原理，针对在液体环境中阻尼增大、微悬臂共振品质因素下降的问题，设计了一个正反馈电路，使得微悬臂在液体中能够稳定在其固有频率上自激振荡，从而简便地测出微悬臂传感器在吸附分析物之后的频率变化。实验中将黄金Au溅射于微悬臂上，每次溅射的厚度为1 nm，等效质量约为0.04272 ng，溅射12次，测得去离子水中微悬臂的频率随溅射的Au质量的增加，约以-10.089 Hz/pg的线性趋势下降，微悬臂对附加质量的检测分辨率提高了约200倍，达到1 pg。

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