作者： 单位：中国电子信息产业发展院 出版：《世界电子元器件》2007年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDYQ2007070270 DOC编号：DOCSDYQ2007070279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS是英文Micro Electro Mechanical System的缩写，是指采用微型制造工艺及尺寸的电子和机械部分整合在单一芯片中的系统。意法半导体(ST)公司的MEMS产品包括加速度传感器和陀螺仪、压力传感器以及MEMS的麦克风等。ST的加速度传感器属于电容式，因此具有反应速度快、分辨率较

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