作者：葛文勋,丛鹏 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2007年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2007030070 DOC编号：DOCNMJM2007030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统(MEMS)自1988年迄今，已从初期的探索、研究和创新阶段转向了生产与应用的成熟阶段，与此同时开辟了很多新领域.对于在今后5~10年中MEMS研究和发展的动向，专家们因其背景不同而看法各异，笔者选用现有实例来说明.从现在的趋势看，传统微机电系统的未来动向可以概括为4个方面.①把“传统”的、成型的MEMS元件或系统改进后，推向大规模应用，以支持持久的研究和开发；②传感器和微系统网络，当单一效能的系统在应用上建立后，可以开拓大型系统的应用；③新的材料，使用硅或半导体以外的许多材料制作特殊的微系统；④发展新的应用领域将是“非传统”的MEMS的主要动向，这些新的领域有生物研究和医药用仪器设备，微能源无线通讯和光通讯，环境保护和监测，以及纳米系统等.笔者根据一些从事MEMS教育和研究的人员的看法，对其发展动向作一简要报告，为MEMS计划工作者提供一些参考。

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