作者：张德福,李显凌,葛川,倪明阳,郭抗 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2016年第06期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2016060020 DOC编号：DOCYQXB2016060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对光学精密工程中位移检测问题，研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理，该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案，从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方程建立了机构位移、刚度、强度和固有频率的理论模型，为机构优化设计提供理论依据。计算和仿真结果表明理论模型和有限元分析误差分别为3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。试验结果表明行程测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为9.254%和13.524%，刚度测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为8.472%和11.914%。标定后传感器测试线性度由0.057 48%提高至0.004 39%，测试精度改善明显，能够满足光学精密位移测试需求。表明所搭建的标定装置有效，且建立的机构理论模型和分析方法可信。

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