作者：陈健,陈德勇,王军波 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007020080 DOC编号：DOCCGJS2007020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度，提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理，推导该结构的理论模型，得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上，为了进一步提高微杆杠的放大倍数，对其参数进行优化，分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响，优化后该结构的放大倍数高达200.基于这种微杠杆结构设计两种分别为静电驱动/电容检测和电热驱动/压阻拾振的谐振式微加速度传感器，分别介绍这两种传感器的工作原理及其特点，并对这两种结构进行有限元模拟.模拟结果证实这两种微加速度传感器的灵敏度均高于1000Hz/gn，进而验证这种新提出的微杠杆结构的有效性。

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