《表面等离子共振Ag-SnO_2复合膜光学传感器》PDF+DOC
作者:符运良,孔令光,傅军,袁一方
单位:西南技术物理研究所
出版:《激光技术》2007年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGJS2007030080
DOC编号:DOCJGJS2007030089
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为了研究CuO的不同掺杂浓度对表面等离子共振角的影响,提出一种新型的棱镜耦合法Ag-SnO2(掺杂CuO)复合膜表面等离子共振光学传感器结构。采用射频反应溅射法在清洗处理后的金红石棱镜上依次制备Ag膜(50nm),SnO2膜(50nm),CuO和SnO2膜(50nm)4层膜结构,CuO的厚度依其不同的掺杂体积分数的不同而不同,经过退火实现SnO2薄膜的掺杂得到复合膜。以He-Ne激光632.8nm为入射激励光源,通过采用表面等离子共振实验方法,CuO的掺杂体积分数分别为0,0.01和0.05时,得到共振角分别为59.61°;,60.52°;和61.3°;的结果。结果表明,CuO掺杂的体积分数越大,表面等离子共振的共振角越大。
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