作者：仝召民,薛晨阳,张斌珍,王勇 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2007年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2007030160 DOC编号：DOCNMJM2007030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电容式加速度传感器设计及工艺加工》PDF+DOC2017年第07期 任建军,石云波,唐军,冯恒振,杜文略 《原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究》PDF+DOC1997年第02期 薛实福,徐毓娴,李庆祥,王晓晔,刘永生,于水 《AFM力传感器微机械加工技术的研究》PDF+DOC1996年第S1期 李庆祥,徐毓娴,薛实福,刘永生 《硅的等离子体深腐蚀》PDF+DOC1991年第01期 C.D.Fung ,T.R.Linkowsk ,袁璟 《PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析》PDF+DOC2003年第Z1期 刘大震,闫卫平,郭吉洪,杜立群 《生物芯片微反应腔系统设计综述》PDF+DOC2008年第08期 范茂彦,张丽芳,沐仕光

    • 针对感应耦合等离子(ICP)刻蚀气室气体分布不均匀性所导致的被刻蚀台面中间厚、边缘薄及干法刻蚀后残余应力大等缺点，进行了GaAs/AlAs的选择性湿法腐蚀工艺研究.腐蚀液为50%一水柠檬酸(C6H8O7.H2O)溶液与30%双氧水(H2O2)的混合物，当二者体积比为3∶1时，GaAs/AlAs的选择比达到79以上.用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对腐蚀后的试验片测试后发现，该体积比腐蚀液腐蚀的试验片具有表面粗糙度低、刻蚀各向异性好、选择比高等优点，能够满足传感器加工的需要；结合试验结果，设计了一种待加工梁厚3μm的外延材料结构，并对传感器的加工工艺进行了优化；最后，采用ANSYS对所设计的结构进行了仿真分析，仿真结果表明，该结构具有可行性，可实现水平面内的声学探测。

    📙 相关资料

    1. 《电容式加速度传感器设计及工艺加工》PDF+DOC 针对精确制导的应用需求，设计了一种量程为100g“三明治”电容式加速度传感器，通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析，并通过Matlab分析、优化结构参数从而确定传感器敏感结构的具体尺寸。利用阻抗分析仪分析得到了传感器的静态电容为14.09 pF，结构输出......
    2. 《原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究》PDF+DOC 分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。...
    3. 《AFM力传感器微机械加工技术的研究》PDF+DOC 本文介绍了力传感器微机械加工工艺路线，对ＫＯＨ腐蚀硅的硅膜厚度控制进行了实验研究，以ＳＩＯ２为掩膜，ＳＦ６刻蚀硅，实现了悬臂梁探针一次成形，并用湿法腐蚀对探针进行初步锐化，针尖半径约５０ｎｍ。...
    4. 《硅的等离子体深腐蚀》PDF+DOC 湿法化学腐蚀已被广泛地应用于敏感器件传感结构的微细加工中.近年来，在VLSI中等离子体干法腐蚀已成为获得细线条图形的可行技术.然而，干法腐蚀工艺无论是等离子体腐蚀或反应离子腐蚀，相对于湿法腐蚀来说都是比较慢的.在需要深腐蚀的应用中(如电子束光刻的对准符号刻蚀，电路隔离槽或敏感器件的微细结构腐蚀)当前......
    5. 《PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析》PDF+DOC 在PCR生物芯片的制作过程中 ，微反应腔制作是关键部分之一。本文利用硅基微机械加工工艺 ，分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作。通过扫描电镜分析 ，证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体。本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热......
    6. 《生物芯片微反应腔系统设计综述》PDF+DOC 聚合酶链式反应(PCR)在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用.充分利用等离子体干法刻蚀和各向异性湿法腐蚀的优点，先干法刻蚀，然后进行湿法腐蚀，可以制作出图形准确、底部致密平整、表面光滑、线条较直的PCR生物芯片微反应腔.而通过分析优化加热器材料和温度传感器的形状及尺寸，则可以满足DNA扩增......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。