《电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用研究》PDF+DOC
作者:程柏文,汤达斌,冯勇建
单位:机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会
出版:《中国仪器仪表》2007年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZYQB2007080130
DOC编号:DOCZYQB2007080139
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介绍一种基于电容式微型真空传感器的真空度检测系统。系统利用PIC系列单片机对真空绝热板真空度进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求。
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