《通孔结构阳极氧化铝湿敏传感器的制备与性能表征》PDF+DOC
作者:凌志远,陈烁烁,王金池,李屹
单位:中国科学院;国家自然科学基金委员会
出版:《科学通报》2007年第12期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFKXTB2007120050
DOC编号:DOCKXTB2007120059
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以0.5mol/L草酸为电解液,在40V直流电压、0~5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片,用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极,成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器.湿度-阻抗特性测试显示,该传感器不但可在12%~97%的相对湿度范围内具有良好的阻抗-湿度线性变化关系,而且具有响应恢复速度快、重复稳定性好的特征。
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